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全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に、最適に設計されております。
Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラーも取り揃えております。
全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能 ■被計測流体の特性による調整、設定が不要 ■30％以内の気体含有液を制御可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
既存設備への後付けで複数メーカーPLC混在でも即座に可視化
■設備を止めずに導入 データフローコントローラをEthernetケーブルで接続するだけで既存設備の再配線をすることなく、後付け可能です。 他社PLCを使用していても機器や制御プログラムの変更が不要で、設備を稼働したままデータ収集を開始することができます。 ■誰でもすぐにデータ活用をスタート プログラムレスでデータフローを作成。指定機器をつなぎ、必要最小限の設定をするだけでデータを自動取得し可視化することができるパッケージもご用意しています。 ■ノーコードのフローエディタ設計 データ収集活用ツールのSpeeDBee Synapseと、グラフ表示ツールはWebブラウザ上で使用でき、いつどこからでも表示・設定することができます。 SpeeDBee Synapseでは処理ブロック(コンポーネント)を線でつなぐだけで直感的に作成できるので、プログラムに不慣れな方でも簡単にデータフローを作成できます。
